微型加速度传感器是用挠性支撑点性因而称作石英挠性加速度传感器，且其结构与制作工艺与之野夫式的结果巨大地简单了。目前这类石英挠性加速度传感器已普遍应用于各种各样当今惯性力矩体系管理中。石英挠性加速度激光传感器的基本原理其是由轭铁由温度系数低导带电磁能好的铁磁性材料组成。磁瓦选用导带电磁能比较的永磁铁氧体，用磨床加工。

抗冲击石英挠性加速度计，由表头和伺服回路组成，加速度计表头包括 上力矩器、下力矩器和位于上述两力矩器之间的粘有线圈的石英玻璃摆片， 石英玻璃摆片包括支承环、挠性梁、摆和六个支承凸台，其特征在于：沿输 出轴方向上在所述的石英玻璃摆片的支承环和摆之间加有限制石英玻璃摆 片变形的限位结构，限制了石英玻璃摆片在输出轴方向大冲击下的变形，微型加速度传感器定制，使 挠性梁的应力小于石英玻璃材料的强度极限，保护石英玻璃摆片不发生断裂 失效。微型加速度传感器在不改变仪表外形结构的情况下，使石英挠性加速度计的抗冲 击能力达到了250g，且成本低，简单易行，微型加速度传感器价格，效果特别明显。

石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，输出电流信号正比于加速度信号。石英挠性加速度是惯性导航系统的惯性器件之一，其输出精度受到温度变化的影响，微型加速度传感器应用，为了降低温度对石英挠性加速度计精度的影响，在研究石英挠性加速度计数学模型的系数随温度变化规律的基础上，设计了加速度计温度模型辨识试验方法，利用数据拟合方法建立了加速度计温度模型.应用该模型提出了石英挠性加速度温度补偿算法，针对该算法的有效性，微型加速度传感器，进行了实验验证，结果表明应用该温度补偿算法，可使加速度计的测量精度提高一个数量级，补偿效果明显.该温度补偿算法可有效地应用于捷联式惯性导航系统等领域中。

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