随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，并可用于高精度的静态角度测量系统中。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计。石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。挠性的材料为温度性能的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性，二轴加速度传感器，但造价很高。二轴加速度传感器产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。片
二轴加速度传感器精密度高些、抗千扰能力强、检测范围大、负载能力强。挠性原材料的性能立即危害到加速度计的性能。能够做为挠性摆的原材料关键有金属材料和石英二种，二轴加速度传感器选型，传统式的液浮摆式加速度计摆片选用金属复合材料，而石英的线膨胀系数则比钢小的多，原材料性能好于金属材料。且石英耐疲劳极限高，原材料自身落后小，很合适于做为加速度计的摆片。石英挠性加速度计一面世，就迅速替代了液浮摆式加速度计，二轴加速度传感器价格，变成惯性导航和制导系统中不能缺乏的重要元器件。 石英挠性加速度计是惯性技术应用中高精度的加速度计，须配合再平衡回路进行加速度测量。对再平衡回路进行合理设计可达到不同的性能指标以满足不同的应用需求。
石英挠性加速度计是由表头和伺服电路组成，石英挠性加速度计是一种摆式加速度计，摆组件弹性的连接在石英晶体经过特殊加工形成的挠性支撑上，既消除了摩擦．同时引入了所需的弹性力矩。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计，二轴加速度传感器应用，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，后输出电流信号正比于加速度信号。二轴加速度传感器正朝着数字式、高精度、高输出速率的方向发展。作为惯导系统的心脏，加速度计精度性能的优劣直接影响到捷联惯导系统的精度。
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